UV-Toepassingen
Advanced Oxidation Processes (AOP)
Afvalwaterzuivering in de halfgeleiderindustrie
Geavanceerde oxidatie voor de behandeling van halfgeleiderafvalwater
In de halfgeleiderindustrie resulteren complexe hoog kwalitatieve fabricageprocessen (zoals chemisch-mechanisch polijsten CMP) voor halfgeleiders in een grote verscheidenheid aan verschillende productie afvalwaters met een aantal potentieel problematische ingrediënten zoals:
- complexvormers (zoals cyanide, EDTA of PBTC)
- metaalionen (zoals koper bij het bewerken van oppervlakken)
- Organische stikstofverbindingen (zoals pyrazool)
- Overtollige H2O2 uit productieprocessen (bv. piranha zuur)
- Giftige verbindingen
- verbindingen met een slechte biologische afbreekbaarheid
Bij de halfgeleiderproductie komen al deze stoffen deels gemengd in het afvalwater terecht en komen samen in het afvalwatersysteem. Dit complexe mengsel en de individueel problematische ingrediënten bij de fabricage van halfgeleiders zijn moeilijk te behandelen met conventionele afvalzuiveringsmethoden, vooral wanneer een economische, milieuvriendelijke, automatische en compacte behandeling vereist is.
Moderne en duurzame behandeling van afvalwater bij de productie van halfgeleiders
"Advanced Oxidation" voor afvalwater afkomstig van wafer fabs voor de productie van halfgeleidercomponenten
Met oxidatieprocessen (Advanced Oxidation Process, Advanced UV-Oxidation Process, UV-Oxidation) van Enviolet, kunnen technisch geavanceerde en individueel aanpasbare oplossingen gerealiseerd worden voor de halfgeleiderindustrie. De verschillende voorgenoemde verbindingen uit waferfabrieken worden verwijderd met volgende oxidatieprocessen.
- complexvormers (zoals cyanide of PBTC, EDTA)
kunnen worden afgebroken door UV-oxidatie -> behandeling van complexvormers
- metaalionen (zoals koper van de bewerkte oppervlakken)
kunnen worden gescheiden na eliminatie van de complexen door een conventionele behandeling (bijv. precipitatie)
- Giftige of storende afzonderlijke verbindingen (bijv. Piranhazuur)
betrouwbaar te verwijderen door UV-oxidatie -> afbraak van individuele stoffen
- Organische stikstofverbindingen (zoals pyrazool)
kan effectief worden verminderd door middel van AOP-processen
- verbindingen met een slechte biologische afbreekbaarheid
kunnen biologisch afbreekbaar gemaakt worden door geavanceerde oxidatie -> toename in biologische afbreekbaarheid
- Overtollige H2O2 uit productieprocessen
kan zonder problemen worden geïmplementeerd. Dit combineren we vaak door een gezamenlijke behandeling van ander probleemafvalwater.
De UV-gebaseerde AOP-systemen (Advanced Oxidation Process Systems) van Enviolet zijn in staat om zelfs optisch dichte media economisch te behandelen die gevormd zijn bij de productie van halfgeleiders en wafer fabs en zijn ideaal voor alle toepassingen in de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. Een groot voordeel van het UV-AOP-proces, is dat er geen sprake is van secundair afval van problematische aard, zoals bij andere processen het geval is (neerslag, verdamping, etc.). In de halfgeleiderindustrie combineren we onze oxidatieprocessen vaak met biologische oxidatie (gemeentelijk of industrieel).
Behandeling van halfgeleiderafvalwater door middel van geavanceerde oxidatie
AOP voor wafer fabs in diverse toepassingen van afvalwaterzuivering (bijv. Voor slurry afvalwater)
Geavanceerde oxidatieprocessen van enviolet kunnen door middel van haalbaarheidsstudies op maat worden gemaakt, om een optimaal resultaat van de oxidatie van het halfgeleiderafvalwater te garanderen in overeenstemming met alle grenswaarden. Bij a.c.k. aqua concept GmbH kan een grote verscheidenheid aan pilootsystemen worden gehuurd.