Tratamiento de aguas residuales en la industria de semiconductores

En la industria de los semiconductores, los procesos de fabricación complejos (como el pulido químico-mecánico CMP) con criterios de calidad muy altos para los semiconductores dan como resultado una gran variedad de aguas residuales de producción diferentes con una serie de ingredientes potencialmente problemáticos como:

- agentes complejantes (como cianuro o PBTC)
- iones metálicos (como el cobre de las superficies mecanizadas)
- Compuestos organo-nitrogenados (como pirazol)
- Exceso de H2O2 de los procesos de producción
- Compuestos tóxicos
- compuestos con escasa biodegradabilidad

Todas estas sustancias llegan a las aguas residuales en parte como una mezcla en la producción de semiconductores y se unen en el sistema de aguas residuales. Esta mezcla compleja y los ingredientes individualmente problemáticos en la fabricación de semiconductores plantean tareas difíciles para los métodos convencionales de tratamiento de aguas residuales, especialmente cuando se requiere un tratamiento económico, ecológico y compacto.

Con los procesos de oxidación (Advanced Oxidation Process, Advanced UV-Oxidation Process, UV-Oxidation) de Enviolet, para la industria de los semiconductores, por ejemplo, se pueden realizar soluciones técnicamente sofisticadas y adaptables individualmente para tratar los compuestos mencionados anteriormente en fábricas de obleas mediante Procesos de oxidación extendidos.

- agentes complejantes (como cianuro o PBTC)
    se puede descomponer por oxidación UV -> tratamiento de agentes complejantes
- iones metálicos (como el cobre de las superficies mecanizadas)
    se puede separar después de la eliminación de complejos mediante un tratamiento convencional (por ejemplo, precipitación)
- Compuestos individuales tóxicos o perjudiciales (p. Ej., Ácido piraña)
    se puede eliminar de forma fiable mediante oxidación UV -> degradación de sustancias individuales
- Compuestos organo-nitrogenados (como pirazol)
    se puede reducir eficazmente a través de procesos AOP
- compuestos con escasa biodegradabilidad
    volverse biodegradable a través de oxidación avanzada -> aumento de la biodegradabilidad
- Exceso de H2O2 de los procesos de producción
    se puede implementar sin ningún problema. A menudo combinamos esto con el tratamiento conjunto de otras aguas residuales problemáticas.

Los sistemas AOP (Advanced Oxidation Process Systems) basados ​​en UV de Enviolet pueden tratar de manera económica incluso medios ópticamente densos en la producción de semiconductores y fábricas de obleas y son ideales para todas las aplicaciones en la industria fotovoltaica y de semiconductores. Una gran ventaja del proceso UV-AOP es que no hay residuos secundarios de naturaleza problemática, como ocurre con otros procesos (precipitación, evaporación, etc.). En la industria de los semiconductores, a menudo combinamos nuestros procesos de oxidación con la oxidación biológica (municipal o industrial).

Los procesos de oxidación avanzados de enviolet se pueden personalizar mediante estudios de viabilidad para garantizar un resultado óptimo de la oxidación de las aguas residuales de semiconductores de acuerdo con todos los valores límite. El a.c.k. aqua concept GmbH se puede alquilar una amplia variedad de sistemas piloto.