Traitement des eaux usées dans l'industrie des semi-conducteurs

Dans l'industrie des semi-conducteurs, des processus de fabrication complexes (tels que le polissage mécano-chimique CMP) avec des critères de qualité très élevés pour les semi-conducteurs entraînent une grande variété d'eaux usées de production différentes avec un certain nombre d'ingrédients potentiellement problématiques tels que:

- agents complexants (tels que le cyanure ou le PBTC)
- ions métalliques (comme le cuivre des surfaces usinées)
- Composés organo-azotés (comme le pyrazole)
- Excès de H2O2 des processus de production
- Composés toxiques
- composés à faible biodégradabilité

Dans la production de semi-conducteurs, toutes ces substances pénètrent dans les eaux usées en partie sous forme de mélange et se rassemblent dans le système d'eaux usées. Ce mélange complexe et les ingrédients problématiques individuellement dans la fabrication de semi-conducteurs posent des tâches difficiles pour les procédés classiques de traitement des eaux usées, en particulier lorsqu'un traitement économique, respectueux de l'environnement et compact est requis.

Avec les procédés d'oxydation (Advanced Oxidation Process, Advanced UV Oxidation Process, UV Oxidation) d'Enviolet, pour l'industrie des semi-conducteurs, par exemple, des solutions techniquement sophistiquées et adaptables individuellement pour traiter les composés mentionnés ci-dessus dans les usines de plaquettes peuvent être mises en œuvre par des processus d'oxydation étendus.

- agents complexants (tels que le cyanure ou le PBTC)
    peut être dégradé par oxydation UV -> traitement d'agents complexants
- ions métalliques (comme le cuivre des surfaces usinées)
    peuvent être séparés après élimination des complexes par un traitement conventionnel (par exemple précipitation)
- Composés individuels toxiques ou perturbateurs (par exemple acide piranha)
    peut être éliminé de manière fiable par oxydation UV -> décomposition de substances individuelles
- Composés organo-azotés (comme le pyrazole)
    peut être réduit efficacement grâce aux processus AOP
- composés à faible biodégradabilité
    devenir biodégradable grâce à l'oxydation avancée -> augmenter la biodégradabilité
- Excès de H2O2 des processus de production
    peut être mis en œuvre sans aucun problème. Nous combinons souvent cela avec le traitement conjoint d'autres eaux usées problématiques.

Les systèmes AOP basés sur les UV (Advanced Oxidation Process Systems) d'Enviolet sont capables de traiter de manière économique même des milieux optiquement denses dans la production de semi-conducteurs et de wafer fabs et sont idéaux pour toutes les applications de l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque. Un avantage majeur du procédé UV-AOP est qu'il n'y a pas de déchets secondaires de nature problématique, comme c'est le cas avec d'autres procédés (précipitation, évaporation, etc.). Dans l'industrie des semi-conducteurs, nous combinons souvent nos procédés d'oxydation avec une oxydation biologique (municipale ou industrielle).

Les processus d'oxydation avancés d'Enviolet peuvent être personnalisés grâce à des études de faisabilité afin de garantir un résultat optimal de l'oxydation des eaux usées des semi-conducteurs tout en respectant toutes les valeurs limites. Le a.c.k. aqua concept GmbH divers systèmes pilotes peuvent être loués.