Trattamento delle acque reflue nell'industria dei semiconduttori

Nell'industria dei semiconduttori, processi di produzione complessi (come la lucidatura chimico-meccanica CMP) con criteri di altissima qualità per i semiconduttori si traducono in una grande varietà di acque reflue di produzione diverse con una serie di ingredienti potenzialmente problematici come:

- agenti complessanti (come cianuro o PBTC)
- ioni metallici (come il rame dalle superfici lavorate)
- composti di azoto organici (pirazolo e altri)
- acqua ossigenata (H2O2) in eccesso dai processi di produzione
- composti tossici
- acque reflue con povera biodegradabilità

Tutte queste sostanze entrano in parte nelle acque reflue come miscela nella produzione di semiconduttori e si uniscono nel sistema delle acque reflue. Questa miscela complessa e gli ingredienti problematici individualmente nella produzione di semiconduttori pongono compiti difficili per i metodi convenzionali di trattamento delle acque reflue, specialmente quando è richiesto un trattamento economico, ecologico e compatto. enviolet è specializzato in tali applicazioni nel trattamento delle acque reflue industriali.

Con i processi di ossidazione (Advanced Oxidation Process, Advanced UV Oxidation Process, UV Oxidation) di Enviolet, per l'industria dei semiconduttori, ad esempio, è possibile implementare soluzioni tecnicamente sofisticate e adattabili individualmente per trattare i suddetti composti nelle fabbriche di wafer utilizzando l'ossidazione estesa processi.

- agenti complessanti (come cianuro o PBTC)
    può essere scomposto per ossidazione UV -> trattamento di agenti complessanti
- ioni metallici (come il rame dalle superfici lavorate)
    può essere separato dopo l'eliminazione dei complessi mediante un trattamento convenzionale (es. precipitazione)
- Singoli composti tossici o dannosi (ad es. Acido piranha)
    può essere rimosso in modo affidabile mediante ossidazione UV -> scomposizione delle singole sostanze
- Composti organici azotati (come il pirazolo)
    può essere efficacemente ridotto attraverso processi AOP
- composti con scarsa biodegradabilità
    diventa biodegradabile attraverso l'ossidazione avanzata -> aumenta la biodegradabilità
- H2O2 in eccesso dai processi di produzione
    può essere implementato senza problemi. Spesso combiniamo questo con il trattamento congiunto di altre acque reflue problematiche.

I sistemi AOP (Advanced Oxidation Process Systems) basati su UV di Enviolet sono in grado di trattare in modo economico anche mezzi otticamente densi nella produzione di semiconduttori e wafer fab e sono ideali per tutte le applicazioni nell'industria dei semiconduttori e fotovoltaica. Uno dei principali vantaggi del processo UV-AOP è che non ci sono rifiuti secondari di natura problematica, come nel caso di altri processi (precipitazione, evaporazione, ecc.). Nell'industria dei semiconduttori, spesso combiniamo i nostri processi di ossidazione con l'ossidazione biologica (municipale o industriale).

Gli avanzati processi di ossidazione di enviolet possono essere personalizzati attraverso studi di fattibilità al fine di garantire un risultato ottimale dell'ossidazione delle acque reflue dei semiconduttori nel rispetto di tutti i valori limite. Il a.c.k. aqua concept GmbH è possibile noleggiare un'ampia varietà di sistemi pilota.